Проектирование кремниевого резонатора с пьезовозбуждением

1. Чертеж конструкции резонатора, А4, с указанием габаритных размеров
2. Ортогональные сечения профиля изделия, А4
3. Фотошаблон № 1 травления диафрагмы, А4
4. Рабочий чертеж фотошаблона № 2 травления сквозных пазов, А4
5. Фотошаблон № 2, А4
6. Травление пьезопленки, А4
7. Технический чертеж металлизации, А4
8. Сборка основания, А4
9. Кремниевый резонатор в сборе, А4

Дополнительные материалы: прилагается расчетно-пояснительная записка на 9 листах.

Приведены общие технические требования к разрабатываемому изделию и основные механические параметры кремния.

Указаны параметры: длина струны 4 мм, ширина 0,8 мм, толщина пластины кремния 500 мкм.

Выполнена расчетная часть. Расчет характеристик резонатора основан на определении зависимости частоты от параметров изделия и растяжек, формы изогнутой оси резонатора. Вычислены значения:

Определены расчетные значения длины, ширины и высоты растяжки: 1420×10^-6, 329,5×10^-6, 24×10^-6.

Разработан технологический процесс изготовления. В качестве материала для изготовления приняты пластины кремния КЭФ-0,5 толщиной 500 мкм, диметром 150 мм. Выполняется двустороннее совмещение фотошаблонов 1 и 2. На обе стороны пластины наносится фоторезист. Далее выполняется экспонирование, травление SiO₂, снятие фоторезиста. Травление диафрагмы выполняется на глубину при температуре 130⁰С в 30% растворе КОН. Замет выполняется травление сквозных пазов и нанесение пьезопленки ZnO. Последовательно выполняются операции по фотолитографии пьезопленки по фотошаблону № 3, металлизации, фотолитографии по металлизации по фотошаблону № 4 и скрайбированию пластины. Далее кристаллы садятся на основание. Выполняется ультразвуковая сварка контактных площадок с выводами основания. Проводится контроль центральной частоты резонатора. В конце технологического процесса выполняется герметизация, маркировка и упаковка.

Расчетно-пояснительная записка Word: 9 страниц

Спецификация – 2 листа

В программе: Компас 3D v